在南方光学里,徐申学看到了他们的先进第五代s传感器的产线,同时也看到了他们还在实验室里的第六代s传感器的样品。
当然更重要的还是看了他们的光刻机镜片生产线!
这个光刻机镜片的生产线,和常规工业产品的厂房是有巨大差异的。
徐申学所看到的是更像是实验室一样的生产车间,里头有着大量的顶级的设备,并且整个生产环境都是属于高度无尘环境。
南方光学的负责人解释道:“车间里生产的是euv光刻机使用的镜片,其平面精度非常高,空气里随便一粒灰尘落在上面,都意味着超高精度的镜片上出现了一座‘大山’,为了制造这种镜片,必须在超洁无尘环境下进行!”
“现在这个车间生产的镜片,是用于heuv-300b光刻机的主镜片,镜面直径达到一米,但是表面粗糙度只有三十五皮米,而面精度,即峰值与谷值的差值只有0.15纳米。”
“也只有这种平整度的镜片,才能够镜收集极紫外光光源,最后产生稳定的13.5纳米的极紫外光光束用于曝光生产!”
“为了达到这种超高精度,我们在材料上使用了总公司材料研究院研发的xhj14钼/硅复合材料,足以反射极紫外光不吸收,同时在加工上,我们通过采用离子束抛光为主,再辅以磁流变抛光等多种抛光技术,通过多种不同的抛光工艺相互结合,逐步平整镜片,最后达到了设计要求!”
“这位是我们南江科技的副总经理兼光刻机镜片事业部总经理,我司首席科学家曹星辰曹教授,之前的duv镜片以及现在的euv镜片,都是他带着团队做出来的!”
徐申学看着前方这个小老头,脸上带着热诚的笑容上前握住了曹教授的手:“多亏曹教授的多年辛苦,这才能够搞出来至关重要的光刻机镜片,才能够打破国外的光刻机封
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