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第九十七章 国产半导体(3 / 4)

领域的投资,young身为idg合伙人,不止关注生物医药领域。

在前几年国产半导体大火的时候,young对国产半导体行业有很深的研究。

他完全不像程钢那么乐观:

“国产光刻机远没有外界宣传的乐观,目前国产光刻机实现了28nm的制程,但是良品率远没有asml来的高。”

“更重要的在于28nm好研究,但是想再往前,14nm、7nm的光刻机会异常困难。”

“目前光刻机指标有node cd和half-pitch cd。”

“half-pitch cd 是专用于光刻领域描述光刻分辨度的技术指标。比如说前一代193i光刻机, hp cd极限值等于38 nm.现在的euv nxe 3400b可以做到极限13nm.”

“node cd跟 hp cd不是一个概念。”

“node cd是一个半导体器件的概念,目前主流媒体所说的技术节点便是这个node cd。”

“一般来说 node cd约等于1/2 *hp cd。”

cd全称是critical dimension

“其中11年 intel首先将finfet技术引入22 nm节点。”

“22nm要求 44nm的光刻hp cd。这个要求在实际工艺中很难实现,太接近38nm极限值了。”

“所以intel率先使用double patterning技术。这一技术把同一层的非常靠近的光刻图案分解到两个掩模(mask)上。分两次曝光实现。”

“同理,self-aligned的技术也被引入,三次曝光,四次曝光都成为了可能。”

程钢听得满脸问号,内心对yo

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